Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие

Галперин В.А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие



Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Жанр: Нанотехнологии

Качество: Хорошее
Страниц: 283
Формат: pdf, fb2, epub

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

 

Спасибо!!