Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Яфаров Р.К.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий



Издательство: Физматлит
Жанр: Нанотехнологии

Качество: Хорошее
Страниц: 216
Формат: pdf, fb2, epub

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

 

Спасибо

 

Так себе писание...